微納制造與測量技術教育部工程中心
發布時間:2019-04-15    

微納制造與測量技術教育部工程研究中心暨天津市微納制造技術工程中心(簡稱MNMT),依托于天津大學精密儀器與光電子工程學院、精密測試技術及儀器國家重點實驗室、微納制造與測試研究所,主要從事微機電系統(MEMS)、超精密微納加工、微納測量與裝備等微納制造技術的産業化工作。

在微機電系統方向,MNMT以薄膜體聲波諧振技術爲核心,在MEMS濾波器、振蕩器、傳感器前沿研究與産業化應用方面,取得突破性進展。打造了國內高校唯一集設計、加工、封裝、測試于一體的MEMS實驗線,與知名企業建立了深入的産學研合作,引入外部資本創立了專業企業。

在超精密微納加工方向,MNMT專注于光學自由曲面加工、硬脆性材料複雜曲面加工、聚焦離子束納米加工、精密微注塑、壓鑄技術等方面的研究與開發。在前沿科技領域開展創新性研究,獲取具有自主知識産權的創新成果,培養和凝聚創新性人才,構建高水平實驗技術和國際學術交流平台。爲高校、院所、企業提供高難度加工服務,服務國內外單位逾百家,技術水平躍居國際前列。

在微納測量與裝備方向,MNMT致力于新型、高端微納尺度測量技術及相關儀器系統的研究,在微結構光學測試技術(微視覺、反射差分光譜、顯微幹涉、X射線三維顯微成像等)和掃描探針測試技術等方面取得了系列化的創新成果。自主研制成功多套微結構幾何量和機械量光學測試系統和原子力顯微鏡,解決了超薄膜生長實時監測、跨尺度表面形貌及相關幾何量精密測量、MEMS三維耦合運動特性測量、亞微米級三維透視顯微成像等一系列國際性測量難題,技術水平在國內處于領先地位。

MNMT拥有20位教授、副教授与30位工程师构成的科研-产业化协同团队,支持中心在新一代信息技术和高端装备制造等战略性新兴产业领域取得了长足发展,在先进制造、微电子、仪器与传感、材料、生物、岩石矿物、国防等多个前沿和重点领域拓展了关键应用,有效推动我国微纳制造领域科學研究与产业化水平的提升。